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センサとマイクロマシンの基礎から応用まで解説した教科書！
【平成19年度　電気学会著作賞　受賞】
　「電気学会-オーム社教科書新シリーズ共同出版企画」の1巻。電気・電子・機械系の専門課目であるセンサ・マイクロマシン工学の教科書。
　本書は、センサとマイクロマシンの原理、微細加工から応用まで含めたマイクロマシンの技術、さらには化学・バイオを含む各種分野のセンサについて解説し、近年のセンサ・マイクロマシン分野の研究・開発の進展に対応している。
1章　本書の構成と使い方
2章　センサ・マイクロマシンの概要
3章　微細構造製作プロセス技術
4章　物理センサ
5章　マイクロアクチュエータとマイクロマシン
6章　化学センサとマイクロ化学システム