對於參與快速發展的機器人科學領域的任何人來說，「微機電系統」都是必不可少的資源。本書由 福阿德·薩布里 撰寫，對微機電系統 (微機電系統) 進行了全面的探索，微機電系統是現代機器人、自動化和先進技術的核心。本書對於專業人士、學生、愛好者和業餘愛好者來說都是一本有價值的指南，提供了理論見解和實際應用。如果您想了解小型機械系統如何影響機器人技術，這本書是必讀的。它提供前沿的內容，而不僅僅是基礎知識，使其成為對您的知識的投資，從長遠來看將獲得回報。

章節簡要概述：

1：微機電系統：探索 微機電系統 技術的基礎知識、其組件及其在機器人及其他領域的應用。

2：光刻：了解 微機電系統 製造中光刻的關鍵過程，這對於設計小型結構至關重要。

3：半導體裝置製造：了解半導體裝置的製造方式，這對於機器人中的 微機電系統 裝置至關重要。

4：各向同性蝕刻：深入研究各向同性蝕刻工藝，精準塑造微機電系統材料。

5：反應蝕刻：探索反應蝕刻，這是一種用於 微機電系統 材料圖案化和結構化的關鍵技術。

6：乾蝕刻：檢查可在 微機電系統 中精確製造微結構的乾蝕刻方法。

7：表面微機械加工：了解表面微機械加工工藝，該工藝為 微機電系統 創建複雜的 3D 結構。

8：體微機械加工：了解體微機械加工及其在創建具有複雜功能的 微機電系統 設備中的作用。

圖 9：深反應離子蝕刻：揭示深反應離子蝕刻工藝，用於在 微機電系統 中創建深的、高深寬比的特徵。

10：微加工：研究微加工技術，其中對微米級材料的精確控制至關重要。

11：等離子蝕刻：探索等離子蝕刻的使用，實現 微機電系統 製造的高精度材料去除。

12：蝕刻（微加工）：學習 微機電系統 製造微加工中使用的基本蝕刻技術。

13：半導體晶圓的黏合：了解在 微機電系統 應用中整合半導體晶圓的黏合方法。

14：模板光刻：了解模板光刻如何在 微機電系統 製造中實現圖案轉移，從而提高精度。

15：維易科：研究 維易科 技術在推進 微機電系統 製造流程中的作用。

16：奈米和微型元件中心：了解專門從事 微機電系統 和奈米技術的尖端設施。

17：陽極鍵合：深入了解陽極鍵合，這是在 微機電系統 設備中創建氣密密封的關鍵過程。

18：共晶鍵合：研究共晶鍵合技術，以確保 微機電系統 技術中牢固、穩定的連接。

19：金屬輔助化學蝕刻：探索用於精細特徵圖案化的金屬輔助化學蝕刻製程。

20：蒸汽蝕刻：探索蒸汽蝕刻，這是一種能夠在奈米級精確去除材料的技術。

21：光阻：了解光阻在 微機電系統 製造中的關鍵作用，能夠為複雜結構創造精細圖案。

本書不僅加深了您對 微機電系統 的理解，還將這些技術與機器人技術的實際應用聯繫起來，對於任何想要進一步探索該領域的人來說都是不可或缺的。