「マイクロエレクトロメカニカル システム」は、急速に進化するロボット科学の分野に携わるすべての人にとって不可欠なリソースです。フアード・サブリー が執筆したこの本は、現代のロボット工学、自動化、および高度なテクノロジーの中核であるマイクロエレクトロメカニカル システム (メムス) を包括的に探究しています。この本は、専門家、学生、愛好家、および愛好家にとって同様に貴重なガイドであり、理論的な洞察と実用的なアプリケーションの両方を提供します。小規模機械システムがロボット工学にどのように影響するかを理解したい場合、この本は必読です。最先端のコンテンツで、基礎以上のものを提供しているため、長期的には報われる知識への投資となります。

章の概要:

1: メムス: メムス テクノロジーの基礎、そのコンポーネント、およびロボット工学やその他の分野におけるそのアプリケーションを探究します。

2: フォトリソグラフィ: 小規模構造の設計に不可欠な、メムス 製造におけるフォトリソグラフィの重要なプロセスを学びます。

3: 半導体デバイスの製造: ロボット工学における メムス デバイスにとって重要な半導体デバイスの製造方法を理解します。

4: 等方性エッチング: 等方性エッチングのプロセスに踏み込み、メムス の材料を正確に成形します。

5: 反応性イオンエッチング: メムス 材料のパターン化と構造化の重要な技術である反応性イオンエッチングについて学びます。

6: ドライエッチング: メムス で精密な微細構造の製造を可能にするドライエッチング法を調べます。

7: 表面マイクロマシニング: メムス の複雑な 3だ 構造を作成する表面マイクロマシニングのプロセスを学びます。

8: バルクマイクロマシニング: バルクマイクロマシニングと、複雑な機能を備えた メムス デバイスの作成におけるその役割について理解します。

9: 深層反応性イオンエッチング: メムス で深く高アスペクト比の機能を作成するための深層反応性イオンエッチングのプロセスを明らかにします。

10: 微細加工: ミクロン スケールでの材料の精密な制御が重要な微細加工の技術を学びます。

11: プラズマエッチング: プラズマエッチングの使用について調べ、メムス 作成のための高精度の材料除去を実現します。

12: エッチング (微細加工): メムス 製造の微細加工で使用される基本的なエッチング技術について学びます。

13: 半導体ウェーハの接着接合: メムス アプリケーションに半導体ウェーハを統合するための接着接合方法について理解します。

14: ステンシルリソグラフィ: ステンシルリソグラフィが メムス 製造におけるパターン転写を可能にし、精度を向上させる方法を学びます。

15: ヴィーコ: メムス 製造プロセスの進歩における ヴィーコ の技術の役割を調査します。

16: ナノおよびマイクロデバイスセンター: メムス とナノテクノロジーに特化した最先端の施設について学びます。

17: 陽極接合: メムス デバイスで気密シールを作成するための重要なプロセスである陽極接合について理解を深めます。

18: 共晶接合: メムス 技術で強力で安定した接続を保証する共晶接合技術を学びます。

19: 金属支援化学エッチング: 微細パターン形成に使用される金属支援化学エッチングのプロセスを学びます。

20: 蒸気エッチング: ナノスケールで精密な材料除去を可能にする技術である蒸気エッチングについて学びます。

21: フォトレジスト: 複雑な構造の微細パターン形成を可能にする、メムス 製造におけるフォトレジストの重要な役割を理解します。

この本は、メムス の理解を深めるだけでなく、これらの技術をロボット工学の実際のアプリケーションに結び付けます。この分野をさらに探求したい人にとっては欠かせないものとなっています。