"Microelectromechanical Systems" est une ressource essentielle pour toute personne impliquée dans le domaine en évolution rapide de la science robotique. Écrit par Fouad Sabry, ce livre propose une exploration complète des systèmes microélectromécaniques (MEMS), qui sont au cœur de la robotique moderne, de l'automatisation et de la technologie avancée. Ce livre est un guide précieux pour les professionnels, les étudiants, les passionnés et les amateurs, fournissant à la fois des informations théoriques et des applications pratiques. Si vous voulez comprendre comment les systèmes mécaniques à petite échelle influencent la robotique, ce livre est un incontournable. Avec un contenu de pointe, il offre plus que de simples bases, ce qui en fait un investissement dans vos connaissances qui sera rentable à long terme.

MEMS-explorez les fondamentaux de la technologie MEMS, ses composants et ses applications en robotique et au-delà.

Photolithographie-apprenez le processus crucial de photolithographie dans la fabrication de MEMS, essentiel pour la conception de structures à petite échelle.

Fabrication de semi-conducteurs-comprendre comment les semi-conducteurs sont fabriqués, ce qui est crucial pour les dispositifs MEMS en robotique.

Gravure isotrope-plongez dans le processus de gravure isotrope, façonnant les matériaux pour les MEMS avec précision.

Gravure par ions réactifs-découvrez la gravure par ions réactifs, une technique clé pour la structuration et la structuration des matériaux MEMS.

Gravure sèche-examinez les méthodes de gravure sèche qui permettent une fabrication précise de microstructures dans les MEMS.

Micro-usinage de surface-apprenez le processus de micro-usinage de surface, qui crée des structures 3D complexes pour les MEMS.

Micro-usinage en vrac-comprenez le micro-usinage en vrac et son rôle dans la création de dispositifs MEMS aux caractéristiques complexes.

Gravure par ions réactifs profonde-découvrez le processus de gravure par ions réactifs profonde pour créer des caractéristiques profondes à rapport hauteur/largeur élevé dans les MEMS.

Microfabrication-Étudiez les techniques de microfabrication, où un contrôle précis du matériau à l'échelle du micron est crucial.

Gravure au plasma-Explorez l'utilisation de la gravure au plasma, permettant un retrait de matériau de haute précision pour la création de MEMS.

Gravure (microfabrication)-Apprenez les techniques de gravure essentielles utilisées dans la microfabrication pour la fabrication de MEMS.

Collage adhésif de plaquettes de semi-conducteurs-Comprenez les méthodes de collage adhésif pour l'intégration de plaquettes de semi-conducteurs dans les applications MEMS.

Lithographie au pochoir-Découvrez comment la lithographie au pochoir permet le transfert de motifs dans la fabrication de MEMS, contribuant ainsi à la précision.

Veeco-Étudiez le rôle des technologies de Veeco dans l'avancement des processus de fabrication de MEMS.

Centre des nano-et micro-dispositifs-Découvrez les installations de pointe spécialisées dans les MEMS et la nanotechnologie.

Liaison anodique-découvrez la liaison anodique, un processus crucial pour créer des joints hermétiques dans les dispositifs MEMS.

Liaison eutectique-étudiez les techniques de liaison eutectique qui garantissent des connexions solides et stables dans la technologie MEMS.

Gravure chimique assistée par métal-découvrez le processus de gravure chimique assistée par métal utilisé pour la création de motifs fins.

Gravure à la vapeur-explorez la gravure à la vapeur, une technique qui permet un retrait précis de la matière à l'échelle...