„Mikroelektromechanische Systeme" ist eine unverzichtbare Ressource für alle, die sich mit dem sich rasch entwickelnden Gebiet der Robotikwissenschaft beschäftigen. Dieses von Fouad Sabry verfasste Buch bietet eine umfassende Erforschung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), die das Herzstück moderner Robotik, Automatisierung und fortschrittlicher Technologie bilden. Dieses Buch ist ein wertvoller Leitfaden für Fachleute, Studenten, Enthusiasten und Bastler gleichermaßen und bietet sowohl theoretische Einblicke als auch praktische Anwendungen. Wenn Sie verstehen möchten, wie kleine mechanische Systeme die Robotik beeinflussen, ist dieses Buch ein Muss. Mit hochmodernen Inhalten bietet es mehr als nur die Grundlagen und ist somit eine Investition in Ihr Wissen, die sich auf lange Sicht auszahlen wird.

MEMS-Erkunden Sie die Grundlagen der MEMS-Technologie, ihrer Komponenten und ihrer Anwendungen in der Robotik und darüber hinaus.

Photolithografie-Lernen Sie den entscheidenden Prozess der Photolithografie bei der MEMS-Fertigung kennen, der für die Entwicklung kleiner Strukturen unerlässlich ist.

Herstellung von Halbleiterbauelementen-Erfahren Sie, wie Halbleiterbauelemente hergestellt werden, was für MEMS-Bauelemente in der Robotik entscheidend ist.

Isotropes Ätzen-Tauchen Sie ein in den Prozess des isotropen Ätzens und formen Sie Materialien für MEMS präzise.

Reaktives Ionenätzen-Entdecken Sie reaktives Ionenätzen, eine Schlüsseltechnik zum Strukturieren und Strukturieren von MEMS-Materialien.

Trockenätzen-Untersuchen Sie Trockenätzmethoden, die eine präzise Herstellung von Mikrostrukturen in MEMS ermöglichen.

Oberflächenmikrobearbeitung-Lernen Sie den Prozess der Oberflächenmikrobearbeitung kennen, mit dem komplexe 3D-Strukturen für MEMS erstellt werden.

Massenmikrobearbeitung-Erfahren Sie mehr über Massenmikrobearbeitung und ihre Rolle bei der Erstellung von MEMS-Bauelementen mit komplizierten Merkmalen.

Tiefes reaktives Ionenätzen-Entdecken Sie den Prozess des tiefen reaktiven Ionenätzens zum Erstellen tiefer, hochaspektiver Merkmale in MEMS.

Mikrofabrikation-Lernen Sie die Techniken der Mikrofabrikation kennen, bei denen eine präzise Kontrolle des Materials im Mikrometerbereich entscheidend ist.

Plasmaätzen-Erkunden Sie die Verwendung von Plasmaätzen, das eine hochpräzise Materialentfernung für die MEMS-Herstellung ermöglicht.

Ätzen (Mikrofabrikation)-Lernen Sie die wesentlichen Ätztechniken kennen, die bei der Mikrofabrikation für die MEMS-Herstellung verwendet werden.

Klebeverbindung von Halbleiterscheiben-Lernen Sie Klebeverbindungsmethoden zur Integration von Halbleiterscheiben in MEMS-Anwendungen kennen.

Schablonenlithografie-Entdecken Sie, wie Schablonenlithografie die Musterübertragung bei der MEMS-Herstellung ermöglicht und so die Präzision verbessert.

Veeco-Untersuchen Sie die Rolle der Technologien von Veeco bei der Weiterentwicklung von MEMS-Herstellungsprozessen.

Nano- und Mikrogerätezentrum-Lernen Sie hochmoderne Einrichtungen kennen, die auf MEMS und Nanotechnologie spezialisiert sind.

Anodisches Bonden-Erhalten Sie Einblicke in das anodische Bonden, ein entscheidender Prozess zum Herstellen hermetischer Dichtungen in MEMS-Geräten.

Eutektisches Bonden-Lernen Sie eutektische Bonding-Techniken kennen, die starke, stabile Verbindungen in der MEMS-Technologie gewährleisten.

Metallunterstütztes chemisches Ätzen-Entdecken Sie den Prozess des metallunterstützten chemischen Ätzens, der zur Feinstrukturierung verwendet wird.

Dampfätzen-Erkunden Sie das Dampfätzen, eine Technik, die präzises Materialabtragen im Nanomaßstab...