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各種プロセス技術を組み合わせて性能向上を図るプロセスインテグレーションについて，個々のプロセスの基本原理を俯瞰し，それらを総合的に理解した上で．最適な組み合わせを見出すきっかけを与える．1章ではMOS型集積回路とその製造工程の概要を説明する．2章では多様なプロセス技術をまとめる基本原理を紹介．3章ではミクロな視点からゲートスタック工程とその最先端を概観する．4章では多層配線技術とその最前線および将来展望について解説する．