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ナノスケールVLSIデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法について、深くポイントを掘り下げ解説します。 ●初学者向けの基礎的教科書の知識を前提に、ナノ領域における開発現場での応用と着目点、解決すべき問題を整理。●MOSFET動作の基礎と短チャネル効果の最新の説明から始まり、微細化に変わる技術として注目されている新構造トランジスタと移動度向上策までを紹介。 ●カーボンナノチューブ等の異なるチャネル材料を用いたトランジスタとMOSFETを越える新原理デバイスの研究状況について概説。