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半導体産業を中心とする鉄鋼産業、 生体を含めた有機高分子材料分野などで実用化が進み、表面分析法として位置づけが明確になってきた二次イオン質量分析法（SIMS）の技術について第一線の研究者が解説した実用書。データ解析に必要な基礎事項や装置の概要および各部の動作原理、正しい解析結果を得るために必要な基礎事項と測定条件の最適化および測定上のノウハウから、SIMSおよびSIMS関連技術の現状と今後の新しい展開に至るまで、現場の分析実務技術者、材料および各種機能デバイスの開発に従事する技術者に役立つ内容を盛り込むとともに、できるだけ平易な記述を心掛けた。底本1999年発行。