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走査電子顕微鏡（SEM）は、分解能的には光学顕微鏡と走査ブローブ顕微鏡の間に位置し、手軽な形状観察の手段であった。しかし、環境SEMや超低加速SEMなど、この分野にもブレイクスルーが起きていることに加え、そもそもの操作性の良さや、他の計測・加工法との複合化のしやすさなどから、ナノ計測・ナノ加工といったナノファクトリーの重要なツールとして近年新たな活路が見出されるようになってきている。本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新たな切り口における驚くべきSEMの能力と可能性について、実際の観察結果を多く織りまぜて解説する。底本2004年発行。