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電子線回折法というのは、固体表面に、原子や分子がどのように並んでいるかを調べるための実験手法の一つである。入射電子は、固体表面の原子や分子によって散乱され、スクリーンに模様をつくる。その模様が、固体表面の原子や分子の配列を反映している。本書は、そのなかでも使用度の高い低速電子線回折法（LEED）および反射高速電子線回折法（RHEED）について、原理から応用例までを詳しく解説する。ミクロな部分を調べる走査プローブ顕微鏡等の装置に対し、マクロな領域を調べるためのツールとして相補的に活用されている。底本2003年発行。