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精密測定と操作技術の開発に伴い大きく発展しエレクトロニクスやナノテクノロジーの基礎をなす分野として重要な表面物性工学について、表面の基礎物性、処理手法、測定手法、解析手法等を網羅した。最先端のトピックスも含め、基礎から解説する教科書的要素と最先端技術を紹介する専門書的要素を融合した標準的ハンドブック。